関西支部

表面科学技術研究会2012

《水と表面》表面のウェット・ナノプロセスの最前線
―固液反応,水・洗浄・加工・計測技術―
本会 関西支部,(社)日本表面科学会 関西支部,神戸大学 研究基盤センター
エレクトロニクス実装学会ほか
平成24年1月18日(水)13:30〜17:30
神戸大学百年記念館六甲ホール
[所在地]兵庫県神戸市灘区六甲台町1-1
[交 通]阪神電車「御影駅」・JR「六甲道駅」・阪急電鉄「六甲駅」のいずれかの駅から神戸市バス36系統「鶴甲団地」行に乗車,「神大本部工学部前」で下車。
200名
参加 無料
講  演
1.基調講演:シリコン表面の室温三工程洗浄技術と超高速ウェットエッチングによるウェーハ薄化技術
東北大大見忠弘
2.超純水−限りなくH2Oに近い水−がもたらす超清浄表面
オルガノ(株)川田 和
3.第一原理シミュレーションで観る固液界面の構造および電気化学反応
(独)産業技術総合研究大谷 実
4.ウェットエッチングによるSiC,GaN表面の原子スケール平滑化
大阪大山内和人
5.ナノメートル形状計測における不確かさ評価とナノメートル標準の構築
東京大高増 潔
申込締切 平成24年1月11日(水)
申込方法 下記ホームページからのONLINE申し込みを推奨します。
http://www.sssj.org/Kansai/goudou120118.html
問合せ先 (社)日本表面科学会 関西支部 幹事 服部 賢
〒630-0192 生駒市高山町8916-5,
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
Tel/Fax:0743-72-6021/6029,E-mail:khattori@ms.naist.jp