夏季実習セミナー（Ⅱ）「ドライプロセスの基礎と薄膜作製」
| 共 催 | (一社)表面技術協会 |
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| 協 賛 |
(公社)電気化学会，(一社)日本表面処理機材工業会， 全国鍍金工業組合連合会（予定） |
| 日 時 | 平成30年8月22日（水）10：00～17：00 |
| 会 場 |
千葉工業大学 津田沼キャンパス 5号館 6階 会議室（千葉県習志野市津田沼2-17-1）
［アクセス］ http://www.it-chiba.ac.jp/institute/access/tsudanuma/ |
プログラム
| 10：05～10：40 | 真空とプラズマの基礎 | 前 (一社)日本真空学会 大工原茂樹 |
| 10：40～11：20 | PVDとCVDの基礎 | 千葉工業大学 坂本 幸弘 |
| 11：20～12：00 | プラズマ診断の基礎 | 千葉工業大学 小田 昭紀 |
| 12：00～13：00 | 休憩／昼食 | |
| 13：00～13：30 | 実習方法（実習A～Cの研究室見学） | |
| 13：30～17：00 | ||
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実習Ａ プラズマプローブ装置と質量分析装置によるプラズマのモニタリング
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［担当／場所：小田研究室］ | |
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実習Ｂ スパッタリングによる化合物薄膜作製
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［担当／場所：井上研究室］ | |
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実習Ｃ プラズマによる表面硬化／プラズマCVDによるダイヤモンド薄膜作製
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［担当／場所：坂本研究室］ | |
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参 加 費
（消費税含む） |
※協賛団体会員の方は会員価格でご参加いただけます。
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| 定 員 | 50名（先着順） | ||||
| 申込方法 | 参加申込書（EXCEL） に必要事項をご記入のうえ，下記の申込先に電子メール（添付ファイル）にてご送付ください。 | ||||
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団体正会員 の特典 |
1口につき1名が参加費20,000円で参加できます。
※詳細につきましては，団体正会員の連絡担当者宛に案内状および「団体正会員優待カード」を
お送りいたしましたので（6/15発送），社内でご調整のうえ，ご利用ください。
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| 振 込 先 |
郵便振替口座：00130-2-123987 一般社団法人表面技術協会 銀行振込口座：三菱UFJ銀行 室町支店 普通 No.0360637 一般社団法人表面技術協会
※申込後の取り消しや不参加の場合にも参加費の払い戻しはいたしません。
その場合には，代理の方のご出席をお願いいたします。
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| 申 込 先 |
(一社)表面技術協会 夏季実習セミナー（Ⅱ）係 〒101-0041 東京都千代田区神田須田町2-7-1 TEL：03-3252-3286，FAX：03-3252-3288， E-mail：info@sfj.or.jp |