関西支部：令和5年度第1回表面物性研究会

［概要］前半は，現在次世代のパワー半導体材料として注目されている，準安定相α型酸化ガリウム(α-Ga₂O₃)やp型伝導を示す酸化イリジウム(α-Ir₂O₃)の合成手法とデバイス応用についてお話をします。後半は，最近注目を集め始めているパワー半導体材料である二酸化ゲルマニウム(GeO₂)薄膜の結晶成長手法と，そのポテンシャルについて講演する予定です。

［概要］金属酸化物膜は，優れた光学的・電気的・磁気的性質から多種多様な機能性薄膜として活用され，気相や溶相を用いた種々の方法によって作成することができる。演者が検討してきた酸化物膜の水溶液電気化学反応を用いた“ある”直接形成方法について，研究開発の背景や端緒，プロセスの熱力学設計と材料系の展開と限界，さらにナノ構造体や太陽光エネルギー変換素子などの半導体素子への展開について，実例を引きながら概説する。