部会

材料機能ドライプロセス部会および関西支部表面物性研究会 合同研究会

本会 材料機能ドライプロセス部会,本会 関西支部
(材料機能ドライプロセス部会・第88回例会)
(関西支部表面物性研究会・平成23年度第2回研究会)
平成23年9月16日(金) 13:30〜17:00(受付開始13:00)
京都大学 吉田キャンパス 工学部物理系校舎 3階315講義室
[交通アクセス]http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/access/campus/map6r_y.htm
1.先進プラズマプロセスを用いた表面技術のイノベーション
名古屋大大学院工学研究
プラズマプロセスは,大規模集積回路や太陽電池をはじめ全産業を支える基幹科学技術である。最近では,多様な表面処理を大気圧下で高速に実現できる新しいプラズマ技術も開発されている。本講演では,先進プラズマプロセスの基礎から応用を解説し,その表面技術へのイノベーションを紹介する。
2.ロールツーロールによる真空成膜技術
(株)神戸製鋼商品開発部高機能Gr.
近年タッチパネルの普及やフィルムを基板にしたディスプレイや太陽電池の開発のニュースが流れる中,ロールツーロール成膜への興味が高まっている。本講演ではロールツーロール成膜手法の概要紹介に続き,弊社で取組を中心に,透明導電膜形成とバリア膜の形成技術・装置の紹介を行う。
3.スパッタリング法によるPETフィルム上への酸化亜鉛透明導電膜の作製
尾池工業(株)フロンティアセンタ利雄
RFプラズマアシストスパッタリング法によるガラス基板上GZO透明導電膜の比抵抗分布,耐湿熱性改善について述べるとともに,PETフィルム上GZO膜の有機バッファー層による耐湿熱性改善,およびRoll to Rollでの長尺フィルムの作製を試みた結果について紹介する。
参加
材料機能ドライプロセス部会会員  1社2名迄無料
一般 1名3,000円
学生 無料
(テキスト代,消費税含む)
申込方法 参加ご希望の方は,「合同研究会参加希望」と記載し,住所,氏名,所属,連絡先(電話番号またはメールアドレス)を明記のうえ,Faxまたはメールにてお申し込み下さい。折り返し参加証・会場案内図・参加費の請求書をお送りいたします。
(Fax:03-3252-3288,E-mail:sfj@ce.mbn.or.jp)