| 主催 | (一社)表面技術協会・関東支部，神奈川県産業技術センター |
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| 日時 | 平成27年2月19日（木）13：30〜17：00 |
| 会場 |
神奈川県産業技術センター 管理・情報棟 3階 第3会議室 (神奈川県海老名市下今泉705-1，TEL：046-236-1500) 交通機関：小田急線，相模鉄道線「海老名駅」から徒歩約18分 JR相模線「海老名駅」から徒歩約15分 詳細：http://www.kanagawa-iri.go.jp/aboutcenter/center-access.html |
| 参加費 | 無料 |
| 定員 | 30名 |
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プログラム
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1．開会挨拶
神奈川県産業技術センター・電子技術部長大屋誠志郎
2．荷電粒子ビーム技術のナノメカニクス研究応用
東京大学大学院工学系研究科米谷 玲皇
3．電子線描画装置の開発動向
(株)エリオニクス 開発技術部新関 嵩
4．電子線描画装置の利用例について
神奈川県産業技術センター 電子技術部安井 学
5．見学：神奈川県産業技術センター （光材料基礎実験室：電子線描画装置，クリーンルーム等）
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| 申込方法 |
以下の神奈川県産業技術センターHPからお申込みください。 https://www.kanagawa-iri.jp/2015/01/electro-surface-form-2.html |
| 申込締切 | 平成27年2月13日（金）（定員に達していない場合は、当日参加も可能です。お気軽にお問い合わせください。） |
| 問合先 |
一般社団法人表面技術協会 上野千恵美（TEL：03-3252-3286）
神奈川県産業技術センター電子技術部 小沢 武，安井 学（TEL：046-236-1500，内3315） |