高機能トライボ表面プロセス部会・第16回例会
テーマ：プラズマハードコーティングに関わる計測およびシミュレーション
| 主 催 | (一社)表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 | ||||||||
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| 共 催 | 国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学プラズマユニット（仮） | ||||||||
| 日 時 | 2021年7月16日（金）13：50～17：00 | ||||||||
| 会 場 | オンライン（Zoom） | ||||||||
| 講 演 |
13：50～14：00 開会の挨拶
14：00～14：50 アモルファス状炭素膜のプラズマ気相化学堆積反応の赤外分光計測
福岡大学 篠原 正典
15：00～15：50 数値シミュレーションで見る微細加工（成膜）技術
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 李 虎
16：00～16：50 半導体デバイス製造におけるプラズマを用いたTi薄膜の成膜機構
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 伝宝 一樹
16：50～17：00 全体討論と閉会の挨拶
17：00～ 講演者との個別相談（Zoomのブレイクアウトルームを使用）
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| 参 加 費 （消費税含む） |
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| 支払方法 |
参加費は期限までにお振込みをお願い致します（振込手数料はご本人負担でお願い致します）。
振込先：ゆうちょ銀行 二一八（ニイチハチ）
店番 218 普通 0136473 コウキノウトライボヒョウメンプロセスブカイ 振込期限：7月5日（月）
・各金融機関から発行された「振込証明書(受領書)」をもって領収書に代えさせていただきます。
・ネットバンキングからのお振込の場合は，振込決済が完了した画面をプリントアウトした書面をもって領収書に代えさせていただきます。
※領収書の必要な方は，web申込フォーム【質問・連絡等】にご記載ください。
また，その下段の【振込予定日をお願い致します】もご記載ください。 ※参加費振込の確認ができた方には，1週間ほど前にメールにてZoom URLをお知らせ致します。
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| 申込方法 | 下記フォームより7月2日（金）までにお申込みください。
https://forms.gle/nQuw8Qvjeogin2nG6 | ||||||||
| 問 合 先 | (一社)表面技術協会「高機能トライボ表面プロセス部会」事務局 E-mail：，TEL&FAX：058-293-2511 |