表面技術協会関東支部／神奈川県立産業技術総合研究所 合同講演会
エレクトロニクス・表面技術フォーラム

概要：固体表面に微細なテクスチャを作製することで，表面の摩擦特性を制御できることが知られている。本研究ではこの原理を応用して，表面に微細なテクスチャを有する切削工具を提案し，その効果について検討してきた。これより，テクスチャによって工具・被削材間の摩擦が減少し，切削工具の加工特性を改善できることを明らかにした。本講演では，その中でもとくに微細加工，超精密加工用工具に適用した事例について述べる。

概要：ハイブリッドレーザー顕微鏡に関してはAlのラインパターンや円パターンの形状評価について紹介する。電子部品の電極の評価例では，電極表面の3次元形状を測定して，粗さパラメータ(3D) が計測可能であった。同時に電極材料の色が評価可能であり，故障解析で電極の変色部分を探す上で有用と思われる。 AFMに関しては薄膜の表面粗さ計測や微細加工パターンの表面形状観察の事例を紹介する。