関西支部：令和7年度第1回表面物性研究会

［概要］ダイヤモンドの優れた半導体特性や光学特性の利用には，単結晶素材のサイズが限定されている足かせは大きな課題であった。(株)イーディーピーは，既に30×30mmの単結晶を実用化し，複数の単結晶を接合したモザイク結晶も量産している。パワーデバイス等の実用化に向け，2インチウエハの開発を進めているが，これまでの大型化の進展と，各種の応用への製品化技術を概説する。

［概要］熱フィラメントCVD法は，タングステン等の高融点金属ワイヤーを通電加熱によって加熱し（>2200℃），原料ガスを分解して前駆体を生成する方法である。原理的に成膜面積の制約がなく，12インチ以上の領域にダイヤモンド薄膜を形成することが出来る。この特徴を活用して，硬質皮膜・工具コーティング応用，電気化学センサ，水処理用電極としての産業利用が広がっており，また近年ではGaN-HEMT用のヒートスプレッダ，単結晶ダイヤモンドデバイス応用に注目を集めている。本講演では，古くて新しい熱フィラメントCVD法による単・多結晶ダイヤモンド成長をレビューし，電気化学測定と機械学習を組み合わせた「電子舌センサ」への応用に向けた取り組みについて紹介する。

［概要］ホウ素をドープしたダイヤモンド(BDD)層を基体に被覆した電極は1990年代に研究が本格化し，従来の電極とまったく異なる電気化学特性を基に，高機能センサー，有機・無機電解合成，廃水処理プロセスなどの電気化学分野での応用研究が進んだ。ここでは実用化に至ったあるいは実用化が期待される，オゾン，過硫酸などの過酸化物，フッ化物合成，次亜塩素酸センサーなどの応用事例について紹介する。